Control device, adjustment method, lithography device, and method for manufacturing article

WO2022124281 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022124281
Aktenzeichen: EP21903381
Anmeldetag: 7. Dezember 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/02H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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