Low frequency rf generator and associated electrostatic chuck

WO2022125231 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022125231
Aktenzeichen: EP21904078
Anmeldetag: 5. November 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von