Multifocal imaging with increased wavelength separation

WO2022125289 Art A1 16. Juni 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022125289
Aktenzeichen: EP21827714
Anmeldetag: 18. November 2021
Veröffentlichung: 16. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/081H01S3/1055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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