Substrate auxiliary cooling system for vacuum evaporation, and working method

WO2022127189 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: HUANENG CLEAN ENERGY RESEARCH INSTITUTE 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022127189
Aktenzeichen: EP21905122
Anmeldetag: 27. August 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50C23C14/56C23C14/24H01L31/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HUANENG CLEAN ENERGY RESEARCH INSTITUTE
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Huaneng Clean Energy Research Institute

Das Huaneng Clean Energy Research Institute ist die Forschungseinrichtung des chinesischen Energiekonzerns China Huaneng Group. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrenstechnik sowie Halbleiter- und Energietechnik, unter anderem für Windkraft und Wärmekraftwerke. Anmeldungen reichen von 2011 bis in die Gegenwart.

471 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von