Apparatus and method for determining three dimensional data based on an image of a patterned substrate

WO2022128373 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022128373
Aktenzeichen: EP21819796
Anmeldetag: 24. November 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/593

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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