Substrate transport system and substrate transport device

WO2022130878 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022130878
Aktenzeichen
EP21906242
Anmeldetag
16. November 2021
Veröffentlichung
23. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B65G54/02H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Yaskawa Electric

Yaskawa Electric Corporation ist ein japanischer Hersteller von Industrierobotern, Servomotoren und Antriebstechnik mit Sitz in Kitakyushu.

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