Oxide semiconductor film formation method and thin film transistor production method

WO2022130913 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022130913
Aktenzeichen
EP21906276
Anmeldetag
22. November 2021
Veröffentlichung
23. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/363H01L21/336H01L29/786C23C14/08C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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