Method for treating transition metal semiconductor, and reducing agent-containing treatment liquid for transition metal oxide

WO2022131186 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022131186
Aktenzeichen
EP21906548
Anmeldetag
13. Dezember 2021
Veröffentlichung
23. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23F1/00C23F1/40H01L21/304H01L21/306H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKUYAMA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

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