X-y stage yaw correction method and x-y stage

WO2022131728 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022131728
Aktenzeichen: EP21907032
Anmeldetag: 13. Dezember 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B23Q1/44F16M11/12F16M11/18H02N2/00H02N2/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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