Apparatus for and method of modulating a wavelength of an excimer laser as a function of its repetition frequency.

WO2022132447 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022132447
Aktenzeichen: EP21836284
Anmeldetag: 2. Dezember 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/225H01S3/10H01S3/137H01S3/13H01S3/23H01S3/08H01S3/102H01S3/086H01S3/139

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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