Apparatus for and method of optical component alignment

WO2022132448 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022132448
Aktenzeichen: EP21836285
Anmeldetag: 2. Dezember 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B17/08H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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