Method of forming a diamond film

WO2022132879 Art A1 23. Juni 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC., NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022132879
Aktenzeichen: EP21907690
Anmeldetag: 15. Dezember 2021
Veröffentlichung: 23. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/028G03F7/032G03F7/16G03F7/11C08F2/50C23C16/02C23C16/04C23C16/27B05D1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: APPLIED MATERIALS, INC.
NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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