Zinc-based metal organic nanoparticle, preparation method therefor, and photoresist

WO2022135528 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY, BEIJING VFORTUNE NEW ENERGY POWER TECHNOLOGY DEVEL 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022135528
Aktenzeichen
EP21909523
Anmeldetag
23. Dezember 2021
Veröffentlichung
30. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TSINGHUA UNIVERSITY
BEIJING VFORTUNE NEW ENERGY POWER TECHNOLOGY DEVEL
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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