Methods and apparatus for controlling electron density distributions

WO2022135811 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022135811
Aktenzeichen: EP21819422
Anmeldetag: 23. November 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00H01J31/00H05H15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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