Methods and apparatus for providing a broadband light source

WO2022135823 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022135823
Aktenzeichen: EP21820193
Anmeldetag: 25. November 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/35G03F1/00G03F1/50G02F1/365H01S3/00G02F1/21

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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