Data-driven prediction and identification of failure modes based on wafer-level analysis and root cause analysis for semiconductor processing

WO2022135948 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022135948
Aktenzeichen: EP21835242
Anmeldetag: 9. Dezember 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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