Methods and apparatus for acoustic metrology

WO2022136047 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022136047
Aktenzeichen: EP21839896
Anmeldetag: 15. Dezember 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N29/04G01N29/22G01N29/24G01N29/26G01N29/28G01N29/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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