Heating part of silicon single crystal manufacturing device, convection pattern control method for silicon melt, silicon single crystal manufacturing method, silicon wafer manufacturing method, silicon single crystal manufacturing device, and convection pattern control system for silicon melt
WO2022137830
Art A1
30. Juni 2022
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022137830
- Aktenzeichen
- EP21909984
- Anmeldetag
- 5. November 2021
- Veröffentlichung
- 30. Juni 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/06C30B15/14C30B30/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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