Heating part of silicon single crystal manufacturing device, convection pattern control method for silicon melt, silicon single crystal manufacturing method, silicon wafer manufacturing method, silicon single crystal manufacturing device, and convection pattern control system for silicon melt

WO2022137830 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022137830
Aktenzeichen
EP21909984
Anmeldetag
5. November 2021
Veröffentlichung
30. Juni 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/14C30B30/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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