Heat treatment boat for vertical heat treatment furnace and heat treatment method for semiconductor wafer

WO2022137851 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022137851
Aktenzeichen: EP21910005
Anmeldetag: 8. November 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/22H01L21/324H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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