Adaptive model training for process control of semiconductor manufacturing equipment

WO2022140097 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022140097
Aktenzeichen: EP21911892
Anmeldetag: 13. Dezember 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06N20/20H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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