Single precursor low-k film deposition and uv cure for advanced technology node

WO2022140346 Art A1 30. Juni 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022140346
Aktenzeichen: EP21912022
Anmeldetag: 21. Dezember 2021
Veröffentlichung: 30. Juni 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/10C23C14/06C23C14/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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