Photomask protection device, photomask protection system and method for using photomask protection system

WO2022142345 Art A1 7. Juli 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022142345
Aktenzeichen
EP21913093
Anmeldetag
5. August 2021
Veröffentlichung
7. Juli 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/64G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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