Apparatus and method for cleaning an inspection system

WO2022144179 Art A1 7. Juli 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022144179
Aktenzeichen: EP21840802
Anmeldetag: 16. Dezember 2021
Veröffentlichung: 7. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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