Modular autoencoder model for manufacturing process parameter estimation

WO2022144205 Art A1 7. Juli 2022

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022144205
Aktenzeichen: EP21843637
Anmeldetag: 20. Dezember 2021
Veröffentlichung: 7. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06N3/04G06N3/08G01B11/06G01B11/02G01B11/00G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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