Thin film-forming starting material for atomic layer deposition, method for producing thin films, and aluminum compound

WO2022145267 Art A1 7. Juli 2022

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022145267
Aktenzeichen: EP21915127
Anmeldetag: 20. Dezember 2021
Veröffentlichung: 7. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/42C07F5/06C23C16/40H01L21/31H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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