Mass Spectrometry To Identify Predictive Failure With Chemical Detection in Microelectronic Systems

WO2022146812 Art A1 7. Juli 2022

Anmelder: PURDUE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022146812
Aktenzeichen: EP21916246
Anmeldetag: 22. Dezember 2021
Veröffentlichung: 7. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01N30/72G01N7/00G05B23/02H01J49/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: PURDUE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Purdue Research Foundation

US-amerikanische gemeinnützige Stiftung, die den Technologietransfer und die Patentverwertung der Purdue University in Indiana verwaltet.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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