Verfahren zur Flächenhaften Bestimmung einer Karte wenigstens eines Strukturparameters einer Strukturierten Oberfläche eines Diffraktiven Optischen Elements

WO2022148838 Art A1 14. Juli 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022148838
Aktenzeichen: EP22700138
Anmeldetag: 7. Januar 2022
Veröffentlichung: 14. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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