Process condition sensing apparatus
WO2022150204
Art A1
14. Juli 2022
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022150204
- Aktenzeichen
- EP21918082
- Anmeldetag
- 24. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 14. Juli 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01D11/24G01D21/02H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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