Extreme Ultraviolet Mask Absorber Materials

WO2022150545 Art A1 14. Juli 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022150545
Aktenzeichen: EP22737153
Anmeldetag: 7. Januar 2022
Veröffentlichung: 14. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/22C23C14/14C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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