Detection method and detection device of gas transmission apparatus, and gas transmission apparatus

WO2022151725 Art A1 21. Juli 2022

Anmelder: CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022151725
Aktenzeichen
EP21918918
Anmeldetag
10. August 2021
Veröffentlichung
21. Juli 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/52C23C16/455G01M3/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CHANGXIN MEMORY TECHNOLOGIES, INC.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Changxin Memory Technologies

Chinesischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Hefei, spezialisiert auf DRAM-Speicherchips.

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