Manufacturing method for hermetic radio frequency mems device, and hermetic radio frequency mems device
WO2022151919
Art A1
21. Juli 2022
Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022151919
- Aktenzeichen
- EP21919106
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2021
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00B81B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TSINGHUA UNIVERSITY
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
Tsinghua University
Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.
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