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WO2022153772 Art A1 21. Juli 2022

Anmelder: TASMIT, INC., TORAY ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022153772
Aktenzeichen
EP21919660
Anmeldetag
16. Dezember 2021
Veröffentlichung
21. Juli 2022
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N21/956
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TASMIT, INC.
TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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