Method of cmp integration for improved optical uniformity in advanced lcos back-plane

WO2022155099 Art A1 21. Juli 2022

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022155099
Aktenzeichen: EP22739917
Anmeldetag: 10. Januar 2022
Veröffentlichung: 21. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/13G02F1/1333G02F1/135G02F1/1362

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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