Generating digital twins of semiconductor manufacturing equipment

WO2022155635 Art A1 21. Juli 2022

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022155635
Aktenzeichen: EP22740246
Anmeldetag: 10. Januar 2022
Veröffentlichung: 21. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G06N3/04G06N3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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