Substrate surface cleanliness evaluation method oriented towards construction and formation

WO2022156744 Art A1 28. Juli 2022

Anmelder: DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY, INSTITUTE OF METAL RESEARCH, CHINESE ACADEMY OF SC 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022156744
Aktenzeichen
EP22742223
Anmeldetag
20. Januar 2022
Veröffentlichung
28. Juli 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/94
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
INSTITUTE OF METAL RESEARCH, CHINESE ACADEMY OF SC
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Dalian University of Technology

Die Dalian University of Technology ist eine chinesische staatliche Universität mit breitem naturwissenschaftlich-technischem Forschungsprofil. Das Portfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Fertigungsverfahren und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2004 bis in die Gegenwart belegt.

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