Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren

WO2022157012 Art A1 28. Juli 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022157012
Aktenzeichen: EP22700292
Anmeldetag: 5. Januar 2022
Veröffentlichung: 28. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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