Vacuum pump of the dry vacuum pump type and pumping unit

WO2022157049 Art A1 28. Juli 2022

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022157049
Aktenzeichen
EP22701180
Anmeldetag
12. Januar 2022
Veröffentlichung
28. Juli 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F04C18/12F04C23/00F04C25/02F04C29/00F04C29/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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