Surface texture measurement device for polishing pad, surface texture measurement method for polishing pad, and surface texture determination method for polishing pad

WO2022158284 Art A1 28. Juli 2022

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022158284
Aktenzeichen: EP22742409
Anmeldetag: 5. Januar 2022
Veröffentlichung: 28. Juli 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/00B24B37/20B24B49/12B24B49/18B24B53/00H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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