An Xy Stage
WO2022158964
Art A1
28. Juli 2022
Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022158964
- Aktenzeichen
- EP21811153
- Anmeldetag
- 17. November 2021
- Veröffentlichung
- 28. Juli 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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