Calibration sample, manufacturing method for calibration sample, and calibration method for autofocus target position

WO2022162791 Art A1 4. August 2022

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022162791
Aktenzeichen
EP21922815
Anmeldetag
27. Januar 2021
Veröffentlichung
4. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
G02B21/34G02B7/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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