Calibration sample, manufacturing method for calibration sample, and calibration method for autofocus target position
WO2022162791
Art A1
4. August 2022
Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022162791
- Aktenzeichen
- EP21922815
- Anmeldetag
- 27. Januar 2021
- Veröffentlichung
- 4. August 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B21/34G02B7/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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