Machine tool, optical systems, and measuring device

WO2022162893 Art A1 4. August 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022162893
Aktenzeichen: EP21922908
Anmeldetag: 29. Januar 2021
Veröffentlichung: 4. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G01B11/24B23Q17/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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