Aligner device and alignment method

WO2022163084 Art A1 4. August 2022

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA, KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022163084
Aktenzeichen: EP21923089
Anmeldetag: 19. November 2021
Veröffentlichung: 4. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von