Single crystal pulling device and single crystal pulling method
WO2022163091
Art A1
4. August 2022
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022163091
- Aktenzeichen
- EP21923096
- Anmeldetag
- 22. November 2021
- Veröffentlichung
- 4. August 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B15/20C30B29/06C30B30/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
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