Single crystal pulling device and single crystal pulling method

WO2022163091 Art A1 4. August 2022

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022163091
Aktenzeichen
EP21923096
Anmeldetag
22. November 2021
Veröffentlichung
4. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/20C30B29/06C30B30/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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