Vacuum pump and spacer

WO2022163341 Art A1 4. August 2022

Anmelder: EDWARDS JAPAN LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022163341
Aktenzeichen
EP22745566
Anmeldetag
11. Januar 2022
Veröffentlichung
4. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS JAPAN LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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