Resist Underlayer Film-Forming Composition Containing Polymer Having Alicyclic Hydrocarbon Group

WO2022163602 Art A1 4. August 2022

Anmelder: NISSAN CHEMICAL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022163602
Aktenzeichen
EP22745823
Anmeldetag
25. Januar 2022
Veröffentlichung
4. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
C08F8/14C08F220/16C08F220/26G03F7/004G03F7/11H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NISSAN CHEMICAL CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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