Temperature measurement method, temperature measurement device, and thin film formation method

WO2022163806 Art A1 4. August 2022

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022163806
Aktenzeichen: EP22746025
Anmeldetag: 28. Januar 2022
Veröffentlichung: 4. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: B21C51/00C01G30/00H01L21/31G01K7/16G01K11/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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