Laser processing apparatus, methods of operating the same, and methods of processing workpieces using the same

WO2022164465 Art A1 4. August 2022

Anmelder: ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2022164465
Aktenzeichen
EP21923538
Anmeldetag
4. März 2021
Veröffentlichung
4. August 2022
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/36B23K26/0622B23K101/42
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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