Apparatus for dispensing a liquid

WO2022167426 Art A1 11. August 2022

Anmelder: LAM RESEARCH AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022167426
Aktenzeichen: EP22706741
Anmeldetag: 1. Februar 2022
Veröffentlichung: 11. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67A61F13/15B05C9/12B05C11/10B08B3/00H01J11/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von