Verfahren zur Identifizierung und / oder Lokalisierung von Bauteilfehlern und Anwendung in Mikrolithographiesystemen

WO2022167500 Art A1 11. August 2022

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2022167500
Aktenzeichen: EP22703381
Anmeldetag: 2. Februar 2022
Veröffentlichung: 11. August 2022
Rechtsraum: WO
IPC: G01H1/00G03F1/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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