Bonding apparatus and bonding method
WO2022168275
Art A1
11. August 2022
Anmelder: SHINKAWA LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2022168275
- Aktenzeichen
- EP21923622
- Anmeldetag
- 5. Februar 2021
- Veröffentlichung
- 11. August 2022
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHINKAWA LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shinkawa
Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.
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